无尘室等级判定标准主要依据 空气中悬浮颗粒的数量和大小来划分。具体标准如下:
1级无尘车间(Class 1)
允许的最大颗粒数为0.1个/立方米。
主要应用于高精密电子器件制造、半导体生产等需要极高洁净度的领域。
10级无尘车间(Class 10)
允许的最大颗粒数为10个/立方米。
主要应用于电子、半导体、光学仪器等需要高洁净度的场所。
100级无尘车间(Class 100)
允许的最大颗粒数为100个/立方米。
主要应用于制药、生物技术、食品加工等需要较高洁净度的领域。
此外,无尘室等级标准还可以参考以下国际标准:
ISO 14644-1标准:
这是一种适用于洁净室中粒子计数的国际标准。
美国联邦标准209E(已被ISO 14644-1替代):
这是一种适用于美国的无尘室等级标准,但现已被ISO 14644-1国际标准替代。
建议在制定无尘室等级判定标准时,应综合考虑行业需求、制程要求以及国际标准,以确保无尘室的洁净度满足特定应用的需求。
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